采用一體疊層型壓電陶瓷結(jié)構(gòu),高溫?zé)Y(jié)而成,結(jié)構(gòu)簡單,工作可靠,疊層型壓電陶瓷高速偏擺鏡結(jié)構(gòu)由電極層及壓電介質(zhì)層經(jīng)多次疊加共同燒結(jié)成一體,外形結(jié)構(gòu)環(huán)形,電極壓部分位置相差 90 度,共四組電極結(jié)構(gòu),每組電極結(jié)構(gòu)添加電場可獨立產(chǎn)生位移,每組電極構(gòu)成一組壓電陶瓷,共組成四組疊堆壓電陶瓷,當(dāng)四組壓電陶瓷同時產(chǎn)生位移時,臺面產(chǎn)生 Z 向位移,當(dāng)相對兩支壓電陶瓷一支升高一支降低輸出臺面產(chǎn)生 X 軸偏擺,另兩支壓電陶瓷也同方式驅(qū)動,壓電陶瓷臺面也會產(chǎn)生 Y 軸偏擺,由于無機械結(jié)構(gòu),壓電陶瓷高速響應(yīng)頻率高,擺速快,可工作在微秒級別擺角速度。

產(chǎn)品特點

    響應(yīng)頻率更高

    體積小巧

    可閉環(huán)控制

    提供定制服務(wù)

技術(shù)參數(shù)